I. Elektron daraja usuli: tezkor-saytni baholash (oʻrta va katta platformalar uchun mos)
Kundalik tekshiruvlar va har chorakda takroriy sinovlar uchun javob beradi. Oddiy operatsiya, arzon narx va ± 0,005 mm / m gacha aniqlik.
1. O'lchov printsipi: daraja yordamida turli pozitsiyalarda egilish burchagini o'lchang. Ma'lumotlardan foydalanib, nuqtalar orasidagi nisbiy balandlik farqini hisoblang va keyin tekislik xatosini hisoblang (diapazon usuli).
2. Ishlash tartibi:
Stol yuzasini tozalang, yog ', payvandlash shlaklari va boshqa qoldiqlarni olib tashlang.
Nuqtalarni bir xil oraliqda "yj" (guruch) shaklidagi yo'l bo'ylab joylashtiring (ikki diagonal + to'rtta yon o'rta chiziq) (tavsiya etilgan qadam 200 ~ 500 mm).
Har bir nuqtada darajani joylashtiring va qabariq barqarorlashgandan so'ng o'qishni (birlik: bo'linishlar) yozing.
Bo'limlar sonini balandlik farqiga aylantiring (masalan, sezuvchanlik 0,02 mm/m, qadam L=0.3m, keyin har bir bo'linish 0,006 mm ga to'g'ri keladi).
Barcha nuqtalar orasidagi maksimal va minimal qiymatlar o'rtasidagi farqni hisoblang; bu tekislik xatosi.
3. Anomaliyalarni baholash mezonlari
Agar o'lchangan qiymat > 0,10 mm/1000 mm (aniqlik darajasi) bo'lsa, u anomaliya sifatida baholanadi; Bitta{2}}mavsum o'zgarishi > 0,02 mm/1000 mm faol ichki stressni bildiradi va ogohlantirishni talab qiladi.
✅ Samaradorlikni oshirish, ma'lumotlarni avtomatik qayd etish va trend tahlilini qo'llab-quvvatlaydigan raqamli elektron darajadan foydalanish tavsiya etiladi.
II. Koordinatali o'lchash asbobi usuli: yuqori-aniqlikdagi miqdoriy aniqlash (qabul qilish va tekshirish uchun mos)
Ommaviy ishlab chiqarishdan oldin robotli payvandlash va benchmarkni tasdiqlash kabi yuqori aniqlik talablari bo'lgan stsenariylar uchun javob beradi.
1. O'lchov printsipi
Tizim stilusni X, Y va Z o'qlari bo'ylab harakatlantirish orqali stol ustidagi bir nechta nuqtalarning koordinatalarini to'playdi. Dasturiy ta'minot ideal tekislikka (eng kichik kvadrat usuli) mos keladi va haqiqiy sirt va ideal tekislik o'rtasidagi maksimal og'ishlarni hisoblab chiqadi.
2. Operatsion nuqtalar
Tizimning aniqligini ta'minlash uchun o'lchashdan oldin probni kalibrlang; Jadvalda kamida 50 o'lchov nuqtasini teng ravishda taqsimlang (panjara usuli); Atrof-muhit tebranishlari va harorat o'zgarishining shovqinidan saqlaning; Maʼlumotlarni qayta ishlash uchun professional dasturlardan (masalan, PC-DMIS) foydalaning.
3. Anormallikni baholash mezonlari
Yassilik=Maksimal musbat og'ish - Maksimal salbiy og'ish; Zavod standartlaridan oshib ketadigan har qanday og'ish (masalan, aniqlik darajasi > 0,10 mm/1000 mm) g'ayritabiiy hisoblanadi; 3D topografik xarita hosil bo'lishi mumkin, unda chiqadigan, konkav yoki buzilgan joylarni vizual tarzda aks ettiradi.
📌 Afzalliklari: Deformatsiya joylarini aniq aniqlab, keyingi taʼmirlashlar uchun maʼlumotlarni qoʻllab-quvvatlaydi.
III. Lazerli interferometr usuli: Ultra-yuqori aniqlikdagi kontaktsiz-tekshiruv (yuqori-aniqlikdagi platformani qabul qilish uchun mos)
Tekislik talablari 0,05 mm/1000 mm dan kam yoki unga teng boʻlgan yuqori{0}}aniqlikdagi platformalar, masalan, aerokosmik va nozik qoliplarni yigʻish stollari uchun javob beradi.
1. O'lchov printsipi
Optik tekislikning ishchi yuzasidan ideal tekislik moslamasi sifatida foydalangan holda, lazer nuri o'lchangan sirtni yoritib, interferentsiya chekkalarini hosil qiladi. Qirralarning egriligi tekislik xatosini aks ettiradi; har bir yopiq chekka l/2 balandlikdagi farqni ifodalaydi (oq yorug'lik ostida taxminan 0,3 mkm).
2. Ishlash tartib-qoidalari
Optik tekislikni tozalangan stol ustiga muloyimlik bilan qo'ying;
Lazerli interferometrni yoqing va optik yo'lning hizalanishini sozlang;
Interferentsiya tasvirini kuzating va qirralarning shakli va sonini tahlil qiling;
Agar chekkalar yopiq halqalarga egilgan bo'lsa, tekislik xatosi=shovqin chekkalari soni × l/2.
3. Anomaliya hukmi
Agar interferentsiya chekkalari aniq kavisli yoki yopiq bo'lsa, bu mahalliy konveks / konkavlik mavjudligini ko'rsatadi;
Agar chekkalar markazdan chetga qarab harakatlansa → sirt qavariq; aks holda, u konkav bo'ladi;
0,05 mm/1000 mm dan ortiq xato qiymati tolerantlikdan tashqari hisoblanadi.
⚠️ Eslatma: Faqat silliq kichik tekis yuzalarga qo'llaniladi (odatda<500mm). Large-area inspections need to be performed in segments.


