1. Rangli nuqta usuli: qizil qo'rg'oshin kukunini o'lchanadigan yuzaga teng ravishda qo'llang. Uni standart plastinkada ishqalagandan so'ng, yorqin dog'lar paydo bo'ladi. 25 mm × 25 mm maydon ichida, agar dog'lar teng taqsimlangan va ko'p bo'lsa (masalan, 20 dan katta yoki unga teng), tekislik qabul qilinadi. Bu usul tez qo'pol o'lchash uchun javob beradi, lekin past aniqlikka ega.
2. Optik tekis aralashuv usuli: Optik yassi (tekislik<0.1λ) onto the surface to be measured to form an air wedge interference cavity. If straight, uniform interference fringes appear under monochromatic light, the flatness is good; if the fringes are curved, the error needs to be calculated:
Annular Fringe: Xato qiymati=chekkalar soni × l/2 (l - yorug'lik to'lqin uzunligi).
Straight Fringe: xato qiymati=egrilik × chet oraligʻi/2.
Bu usul nanometr{0}}darajadagi aniqlikka erishadi va kichik-samolyot tekshiruvi uchun javob beradi.
3. Ko'rsatkich usuli: standart plastinkadan mos yozuvlar sifatida foydalanib, mikrometr bilan sirt nuqtasini nuqta bilan o'lchang. Agar sozlash uchun uch-nuqta usuli qo'llanilsa, maksimal va minimal ko'rsatkichlar orasidagi farq xato qiymati; minimal zona usuli matematik hisoblashni talab qiladi. U yuqori aniqlikni taklif qiladi, lekin uni ishlatish qiyin.
4. Kollimator/daraja usuli: o'lchovlar to'rga joylashtirilgan nuqtalarda amalga oshiriladi va har bir nuqtaning mos yozuvlarga nisbatan og'ishi qayd etiladi. Yassilik xatosi eng kichik kvadratlar usuli yoki minimal chegara zonasi usuli yordamida hisoblanadi. Katta hududni tekshirish uchun mos-, lekin barqaror muhitni talab qiladi.
